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实验室电子薄膜应力分布测试仪 型号：BGS-6341主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出场面型分布结果, 适合于微电子生产线上产量的快速检验和微电子生产艺研究。
电子薄膜应力分布测定仪 型号：BGS-6341主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出场面型分布结果, 适合于微电子生产线上产量的快速检验和微电子生产艺研究。
该产品主要应用在微电子、光电子线上和科研、教学等域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率 半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出场面型分布结果, 适合于微电子线上产量的快速检验和微电子研究
该产品主要应用在微电子、光电子线上和科研、教学等域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率 半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出场面型分布结果, 适合于微电子线上产量的快速检验和微电子研究。
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