质量量控制器用途与点

质量量控制器的英文名字叫"MASS FLOW CONTROLLER"(简称MFC)，它通常由量传感器、量调节阀、放大控制电路和分器控制通道等件组成。

用途与点

质量量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量量行测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制设备中。并广泛用于石油化。冶金，制药等。点:度，重复性好。

般类型

量计般分为以下几种类型:

1. 容积式量计，又称定排量量计。它利用机械测量元件把体连续不断的分割成单个已知的体积分，根据测量室逐次重复的充满和排放该体积分体的次数来测量体体积量。

2. 浮子式量计，又称转子量计，是变面积式量计的种，在根由下向上扩大的垂直锥管中，圆形横截面的浮子的重力是由液体动力承受的，从而使浮子可以在锥管中自由的上升和下降。

3. 差压式量计 ，是根据安装于管道中量检测件产生的差压，已知的体的条件和检测间与管道的尺寸来计算量的仪表。

4. 涡街量计，在体中安放根非线型游涡发生体，体在发生体两侧交替的分离释放出两串规则地交错排列的游涡的仪表。

5. 涡轮量计，是速度式量计中的主要种类，它采用多叶片的转子(涡轮)感受体平均速，从而推导出量或总量的仪表。

6. 声量计，通过检测体动对声束(或声脉冲)的作用以测量量的仪表。

7. 电磁量计，电磁量计是根据法拉弟电磁感应定律制成的种测量导电性液体的仪表。电磁量计有系列优良性,可以解决其它量计不易应用的问题,如脏污、腐蚀的测量。

8. 热式量计，热式量计传感器包含两个传感元件，个速度传感器和个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热分将速度传感器加热到于况温度的某个定值，使速度传感器和测量况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与过气体的质量量成正比，它适合单气体和固定比例多组份气体的测量。

科里奥利式量计，其原理是利用体在振管内动时产生的科氏力，以直接或间接地方法测量其力而得到体质量量。