自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪

更新时间：2013-01-07 | 点击率：272

自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪型号：TP-TPY-2

产品点：

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有度、灵敏度以及自动控制等点。光源采用氦氖激光器，率稳定波长度。

仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件能齐，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。

规格与主要标：

测量范围：薄膜厚度范围1nm-4000nm 折射率范围：1-10

测量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°度≤0.05°

度盘刻度：每格1度允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm

偏振器步角：0.014°/步偏振器方位角范围：0°- 180°

测量膜厚和折射率重复性度分别为：0.5nm和0.005

仪器测量度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）

光学中心度：80mm

成套性：主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）

主机重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm

装箱单