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自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪 型号:TP-TPY-2

更新时间:2013-08-06  |  点击率:851

自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪  型号:TP-TPY-2

产品点:
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有度、灵敏度以及自动控制等点。光源采用氦氖激光器,率稳定波长度。
仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件能齐,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。
 
规格与主要标:
测量范围:薄膜厚度范围1nm-4000nm     折射率范围:1-10   
测量zui小示值:≤1nm                  入射角:20°- 90°度≤0.05°
度盘刻度:每格1度                    允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器步角:0.014°/步               偏振器方位角范围:0°- 180°    
测量膜厚和折射率重复性度分别为:0.5nm和0.005
仪器测量度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)
光学中心度:80mm   
 
成套性:主机、电控系统、USB接口、配套软件(需配计算机)
主机重量:26kg    外形尺寸:680*390*310mm

装箱单

序号

名      称  

规格或型号

数量

备 注

1

自动椭圆偏振测厚仪主机

TP-TPY-2

1台

2

主机电控箱

TP-TPY-2

1台

3

Q9连接线

1根

4

数据连接线

1根

5

电源线

2根

6

15线连接电缆

1根

7

USB连接电缆

1根

8

二氧化硅膜样片

1张

软件安装盘

TP-TPY-2

1张

10

使用说明书

TP-TPY-2

1份

11

装箱单

TP-TPY-2

1份

12

产品合格证

TP-TPY-2

1份

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 北京恒奥德仪器仪表有限公司

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