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自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪 型号：TP-TPY-2 装箱单 序号 名 称 规格或型号 数量 备 注 1 自动椭圆偏振测厚仪主机 TP-TPY-2 1台 2 主机电控箱 TP-TPY-2 1台 3 Q9连接线 1根 4 数据连接线 1根 5 电源线 2根 6 15线连接电缆 1根 7 USB连接电缆 1根 8 二氧化硅膜样片 1张 ９ 软件安装盘 TP-TPY-2 1张 10 使用说明书 TP-TPY-2 1份 11 装箱单 TP-TPY-2 1份 12 产品合格证 TP-TPY-2 1份产品点：仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有度、灵敏度以及自动控制等点。光源采用氦氖激光器，率稳定波长度。仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件能齐，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。 规格与主要标：测量范围：薄膜厚度范围1nm-4000nm 折射率范围：1-10 测量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°度≤0.05°度盘刻度：每格1度 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm偏振器步角：0.014°/步 偏振器方位角范围：0°- 180° 测量膜厚和折射率重复性度分别为：0.5nm和0.005仪器测量度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）光学中心度：80mm 成套性：主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）主机重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm
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