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热式气体质量量控制器 型号；HA-S48 32/HMT
| 编号 | 项目 | S48 32/HMT |
| 1 | 量规格 | （10,20,30,50,100,200,300,500）mL/min; （1,2,3,5,10,20,30）L/min |
| 2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
| 3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
| 4 | 安装方向 | 意 |
| 5 | 量控制范围 | 2%- |
| 6 | 量测量范围 | （0-100）% |
| 7 | 零点温漂 | 0.6%F.S.（15~35℃） |
| 8 | 响应时间 | 2s（T98,设定值的±2%F.S.） |
| 9 | 作环境温度 | 5~50℃ |
| 10 | 度保证温度 | 15~35℃ |
| 11 | 度 | ±1.0%F.S |
| 12 | 线性 | ±0.5%F.S |
| 13 | 重复度 | ±0.2%F.S |
| 14 | 作压差范围 | ~5L/min:（0.05-0.3）MPa 10L/min~30L/min:（0.1-0.3）MPa |
| 15 | 耐压 | 3MPa |
| 16 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s（He） |
| 17 | 管路接头 | 1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm |
| 18 | 供电电源 | ±15VDC（±5%） ＋15V,100mA;－15V, 200mA |
| 19 | 设定信号 | （0-5）VDC 输入阻抗>1MΩ |
| 20 | 量输出信号 | （0-5）VDC 负载输出电能力≤3mA |
| 21 | 电气接头 | D-SUB15 |
| 22 | 尺寸 （mm） | 113（宽）×121（）×32（厚） |
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