浅析少子寿命测试仪的使用

　　少子寿命测试仪是款硅片少子寿命测试仪，不仅适用于硅片少子寿命的测量，更适用于硅棒、硅芯、检磷棒、检硼棒、籽晶等多种不规则形状硅少子寿命的测量。
 

　　使用前的检查：
 

　　开机1、检测所有电源连接无误后，按Power键依次打开DOS系统(上面)和Window系统(下面)的控机。
 

　　2、预热(10分钟以上)
 

　　3、检测前准备(1)双击wintau32图标入软件;;(2)每次开机后Measure/Initialize行初始化。
 

　　使用步骤：
 

　　(1)接上电源线以及用频连接线将CZ与示波器Y输入端接通，开启示波器。
 

　　(2)将清洁处理后的样品置于电上面，为提灵敏度，请在电上涂抹点自来水(注意：涂水不可过多，以免水入光照孔)注意：涂水不可过多，以免水入光照孔。
 

　　(3)开启总电源KD，预热15分钟，按下K接通脉冲电路电源，旋转KW，适当调电压。关机时，要把开关K按起关机时，按起。
 

　　(4)调整示波器电平及释抑时间，内同步，Y轴衰减X轴扫描速度及曲线的上下左右位置，使仪器输出的数衰减光电导信号波形稳定下来。
 

　　少子寿命测试仪少子测量程从1μs到6000μs，硅料电阻率下限达0.1Ω.cm(可扩展至0.01Ω.cm)。测试过程程动态曲线监控，少子寿命测量可灵敏地反映单晶体重金属污染及陷阱效应表面复合效应等缺陷情况，是原生多晶硅料及半导体及太阳能拉晶企业少子寿命测量仪器。