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型号:BGS-6341

电子薄膜应力分布测试仪1

描述:该产品主要应用在微电子、光电子线上和科研、教学等域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率
半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出场面型分布结果, 适合于微电子线上产量的快速检验和微电子研究

  • 厂商性质

    生产厂家
  • 更新时间

    2017-07-15
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产品分类PRODUCT

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品牌恒奥德

电子薄膜应力分布测试仪 型号:BGS-6341

该产品主要应用在微电子、光电子线上和科研、教学等域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率
半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出场面型分布结果, 适合于微电子线上产量的快速检验和微电子研究。
仪器基于干涉计量的场测试原理, 可实时观测面型的分布, 迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置, 及时淘汰早期失效产品。
际*的错位相移
计算机自动条纹处理
测试过程自动
的曲面补偿测试原理
zui大样品尺寸 ≤100mm (4英寸)
曲率范围 |R|≥5米
测试度 5%
单片测量时间 3分钟/片
结果类型 面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格
图形显示能 三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示
电源 AC 220V±10%, 50Hz±5%
zui大耗 100W
外型尺寸(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重量 36kg

北京恒奥德仪器仪表有限公司
:鹏
: /57196682 /57191006//


 

:hadgs2009@yahoo.cn


地址:北京市海淀区阜成路42号院6号C-211

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